Hvert er hlutverk LTPS?
Plasma dauðhreinsun við lágt hitastig.
1. Meginhlutverkið er að vernda hita og raka tæki á áhrifaríkan hátt
2. Til að stytta ófrjósemisferlið í aðeins 32-45 mínútur.
3. Til að tryggja lágmarks losun úrgangs á eitruðum efnum (vatni&magnara; súrefni).
4. Til að veita prentaðar niðurstöður í lok hvers 4 lotu ferli fyrir starfsfólk til að athuga með litlum erfiðleikum.
Hvernig virkar ZeroMe?
Vetnisperoxíðplasma upphátt er búið til með sterkum rafsegulsviðum. Ófrjósemisaðferðin hefur tvíþætt, dreifingu og plasma. Dreifing: Óstjörnuðu hlutföllum er komið fyrir í lofttæmishólf. Vetnisperoxíðgufu er sprautað og látið dreifast um hólfið á tilteknum tímum. Plasma: sérstakar tíðnir koma inn í hólfið og breyta gufu í plasma.








